Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf… mais…
Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. Bücher > Sachbücher > Naturwissenschaften & Technik > Chemie 22.0 cm x 15.0 cm x 0.9 cm mm , VDM, Taschenbuch, VDM<
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*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / A… mais…
*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Technik Medien > Bücher nein Buch (kartoniert) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik;Chemie, VDM Verlag Dr. Müller<
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Dados bibliográficos do melhor livro correspondente
Dados detalhados do livro - Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen
EAN (ISBN-13): 9783639034356 ISBN (ISBN-10): 363903435X Livro de capa dura Livro de bolso Ano de publicação: 2008 Editor/Editora: VDM Verlag Dr. Müller 144 Páginas Peso: 0,231 kg Língua: ger/Deutsch
Livro na base de dados desde 2009-01-31T05:57:19-02:00 (Sao Paulo) Página de detalhes modificada pela última vez em 2023-09-17T10:13:08-03:00 (Sao Paulo) Número ISBN/EAN: 9783639034356
Número ISBN - Ortografia alternativa: 3-639-03435-X, 978-3-639-03435-6 Ortografia alternativa e termos de pesquisa relacionados: Título do livro: verfahren, spurenelemente, die bestimmung
