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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - - nuovo livro
2008, ISBN: 363805277X
Diplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universität Chemnitz (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologie… mais…
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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - primeira edição
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Thomas Wächtler:
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Dados detalhados do livro - Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
EAN (ISBN-13): 9783638052771
ISBN (ISBN-10): 363805277X
Ano de publicação: 2004
Editor/Editora: GRIN Verlag
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Número ISBN/EAN: 363805277X
Número ISBN - Ortografia alternativa:
3-638-05277-X, 978-3-638-05277-1
Ortografia alternativa e termos de pesquisa relacionados:
Autor do livro: wachtler, wachtl, grin verlag, wächtler
Título do livro: mikroelektronik, metallisierung, gasphase, die kupfer, chemische gasphasenabscheidung, die von der
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